方舟子的Blog

前面我谈到为什么中国搞不出高端光刻机，之后有一大批人翻墙过来嘲笑我说：你看，你被打脸了吧，疼不疼啊？我们中国不搞光刻机，但是我们搞出了更先进的光刻厂。一开始我觉得莫名其妙，就去搜了一下。原来一些五毛、伪专家都在说中国自己搞出了更先进的光刻厂。说是清华大学有人提出一个方案，用同步回旋加速器作为极紫外光源，已经在雄安新区建厂，很快就要建成了。有说明年就建好的，也有说2026年建好的。还说等光刻厂建成，什么最先进的芯片都可以制造，不仅是3纳米的芯片，1纳米的芯片也能制造。而且量是极多的，成本是极低的，以后芯片就变成白菜价了，全世界的芯片都要被中国垄断了，美国以后想要中国的芯片，我们还不给。说得小粉红们个个热血沸腾，就像打了鸡血。

我又搜了一下，清华大学的确有人在2021年提出过一个方案，用同步回旋加速器作为极紫外光源。2022年，中科院有人发表了一篇论文进一步详细地论证这个方案。他们说，如果现在立项，预计再过五六年就可以启动这个项目了。也就是说，这个项目连立项都没有，更不要说已经在建厂、马上就要建成了。有人晒出了央视报道的照片，说是已经在建的极紫外的回旋加速器的照片。其实，他们晒出来的照片是中科院高能物理所搞的高能同步辐射加速器。这是早在2011年就提出来，2016年启动的项目，当时预计要用10年时间，就是2026年建成。不过，高能同步辐射加速器产生的是X射线，不是极紫外光，主要用于基础研究。也许在材料制作、医学方面会有一些应用，但跟光刻一点关系都没有，是被五毛们张冠李戴，故意拿出来给小粉红打鸡血的。

清华大学的方案连立项都没有，八字还没有一撇。按他们的说法，即使马上立项，也要过五六年才能启动这个项目，建成一个回旋加速器还要花10年时间。所以，即使从现在就立项，到能够实现、进入商用，那也得是20年后的事了。一个新技术从发论文提出设想，到实现、进入商用，一般也要20年左右的时间。现在用的极紫外光刻机，就是美国能源部的国家实验室早在上世纪90年代末发表论文、提出设想，经过20年的研发才进入商用的。所以，清华大学的方案即使能够实现，那也是20年后的事了。

它有没有可能实现呢？用同步回旋加速器作为极紫外光源进行光刻，这个设想最早并不是中国科学家提出来的，2001年德国科学家就已经发表过这方面的论文了。为什么这么多年过去，并没有真正建什么光刻厂呢？主要的原因是，建一个同步回旋加速器的成本非常高，如此大规模的回旋加速器要花上百亿元才有可能建出来。而且，即使把它建出来了，产生的光的质量也未必比激光好，可能比激光还要差。所以只是发了论文而已，并没有人真正去建它。

有人会说，我们中国有的是钱，就投资100多亿建回旋加速器，为了打破美国的封锁，就多投一点钱，真的建一个光刻厂。但即使把加速器建出来了，那也只是解决了极紫外光源的问题而已。我以前说过，极紫外光刻机有两个核心技术。除了极紫外光源，还有光学系统，目前只有德国的蔡司能够生产，中国做不了。而且除了光学系统，还要涉及到没那么核心但同样非常关键的别的技术，都是中国目前不能掌握的。所以，光是搞出一个极紫外光源又有什么用呢？

再退一步说，即使中国在这十几、二十年内把所有跟极紫外光刻有关的技术全都解决了，一个国家可以抵得上所有发达国家的技术力量了，真的把光刻厂建出来了，生产出来的芯片成本也是极高的，绝对不可能变成白菜价。而且，即使建出来了，也只有一个光源，量产就成问题了。光有一个光源能生产多少芯片呢？而且，只有一个以同步回旋加速器做的光源，当同步回旋加速器出问题需要维修、平时需要维护时，芯片的生产是不是也就停了？而阿斯麦现在一年能生产三四十台极紫外光刻机，量产没有问题，即使一台坏了需要维修，也不影响生产。可见，不管是在量产方面还是生产的稳定性方面，所谓的光刻厂也是没法跟人家竞争的。

所以，以同步回旋加速器作为极紫外光源的所谓清华方案，即使技术上可行，经济上也是不可行的。清华和中科院的人论证这个方案，本来就是为了发表一篇灌水的论文做为个人科研成果，或者拿去骗经费立项做进一步研究，如此而已。他们可能根本也没有想到会被五毛、伪专家拿来作为给小粉红打鸡血的材料。

不过，五毛、小粉红们现在这么一鼓噪，说不定就引起了大领导的注意，然后大领导一拍板：我们中国现在有的是钱，为了雄安的千年大计就投资几百亿。如果真的在雄安搞一个所谓的光刻厂，中国就又多了一个烂尾工程。然后再来一场台风，一场大雨把雄安淹了，就变成浸润式光刻厂了。

中国为了吹嘘华为“遥遥领先”，什么样的谣言都敢造，什么样的谣言都有人信。我看到司马南发微博转了一条消息：“白宫发言人说，麒麟9000s芯片使用了一种美国很陌生的技术进行设计和制造。她还说，在这次调查中，白宫组织专家进行了严格检测，没有发现Mate 60 Pro中有美国相关技术的存在，从工艺细节来看，麒麟9000s芯片的制造也不同于美国技术。最后说，我们还是不相信他们有如此技术。”然后，司马南写诗狠狠嘲笑了白宫发言人。其实完全就是一个谣言。白宫的发言人没有说过这些话，白宫的发言人甚至从来就没有对华为的新款手机采用的芯片发表过评论。

美国商务部倒是说过要对华为的这款芯片进行调查，看有没有采用什么美国的技术，但现在的调查结果并没有出来。美国众议院的一帮共和党众议员，联名给美国商务部写信，要求进一步对华为、中芯国际进行制裁，甚至提出要对华为和中芯国际的高管提起刑事诉讼，这才是有关华为芯片在美国的最新进展。中国这些华为的粉丝，为了吹嘘华为的“遥遥领先”已经得了妄想症了，病得不轻。

2023.09.15录制

2024.05.13整理